[发明专利]一种双层结构遮蔽的半嵌入式阵列探头束剖面诊断方法

摘要

本发明公开了一种双层结构遮蔽的半嵌入式阵列探头束剖面诊断方法，基于具有一定能量的束流轰击功率测量靶会发生二次电子发射的原理进行束剖面诊断。在功率测量靶后方以一定的分布排列安装多枚探针组成阵列，探针在功率测量靶的遮挡下不受束流的直接轰击，而在探针上通以偏置电压形成电场，使出射的二次电子沿电场运动被探针阵列吸引，通过对探针阵列吸收二次电子获得的电流信号进行数据处理、滤波采集，进一步拟合获得二次电子信号曲线。结合束流与功率测量靶运行环境与二次电子发射的相关关系对获取的二次电子信号曲线进行反演处理获得束功率分布数据，经处理拟合获得实时的束功率密度分布曲线，进一步获得束剖面和束参数，为束流的反馈控制提供依据。