[发明专利]一种应用于中红外波段的悬空型偏振分束器在审
| 申请号： | 202110786320.4 | 申请日： | 2021-07-12 |
| 公开（公告）号： | CN113568100A | 公开（公告）日： | 2021-10-29 |
| 发明（设计）人： | 王书晓;蔡艳;余明斌 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | G02B6/126 | 分类号： | G02B6/126;G02B6/124;G02B6/125 |
| 代理公司： | 上海泰能知识产权代理事务所(普通合伙) 31233 | 代理人： | 黄志达 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种应用于中红外波段的悬空型偏振分束器，包括条形硅波导和亚波长光栅平板波导结构，所述条形硅波导包括第一波导、第二波导和第三波导，所述亚波长光栅平板波导结构作为支撑结构，用于支撑所述第一波导、第二波导和第三波导；所述第二波导位于第一波导和第三波导之间，且分别与所述第一波导的耦合区域和第三波导的耦合区域耦合；所述第三波导的第一端作为所述悬空型偏振分束器的输入端，第二端作为所述悬空型偏振分束器的直通端；所述第一波导的第二端作为所述悬空型偏振分束器的交叉端。本发明可以降低二氧化硅衬底的吸收损耗。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 应用于 红外 波段 悬空 偏振 分束器 | ||
【主权项】：
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