[发明专利]光谱共焦扫描共光路数字全息测量系统及测量方法有效
| 申请号： | 202110772709.3 | 申请日： | 2021-07-08 |
| 公开（公告）号： | CN113418469B | 公开（公告）日： | 2023-01-31 |
| 发明（设计）人： | 田爱玲;张英鸽;刘丙才;钱晓彤;王红军;朱学亮;岳鑫;刘卫国 | 申请（专利权）人： | 西安工业大学 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 西安新思维专利商标事务所有限公司 61114 | 代理人： | 黄秦芳 |
| 地址： | 710032 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明为一种光谱共焦扫描共光路数字全息测量系统及测量方法，其克服了现有技术中存在的仅适用于待测物体表面反射或透射形成的相位变化测量，无法实现透明物体各分层界面微观形貌的高精度、非接触、同步三维形貌测量。本发明包括依次设置的多光谱光源、显微物镜、透镜、分光镜一、聚焦色散透镜和待测物体，待测物体位于聚焦色散元件的聚焦范围内，分光镜一后方设置有分光镜二，分光镜二前方依次设置有消色差显微物镜和光纤光谱仪，分光镜二后方设置有双焦点衍射元件，双焦点衍射元件后方设置有图像传感器，图像传感器置于双焦点衍射元件后小焦距以内，光纤光谱仪和图像传感器分别与计算机连接。 | ||
| 搜索关键词： | 光谱 扫描 路数 全息 测量 系统 测量方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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