[发明专利]薄膜涂层结构的层间应力检测方法、计算机装置及计算机可读存储介质有效
申请号: | 202110770896.1 | 申请日: | 2021-07-07 |
公开(公告)号: | CN113536560B | 公开(公告)日: | 2023-06-27 |
发明(设计)人: | 童杰;李娟;邹伟全 | 申请(专利权)人: | 广东科学技术职业学院 |
主分类号: | G06F30/20 | 分类号: | G06F30/20;G06F17/12;G06F17/15;G06F119/14 |
代理公司: | 珠海智专专利商标代理有限公司 44262 | 代理人: | 林永协 |
地址: | 519090 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明提供一种薄膜涂层结构的层间应力检测方法、计算机装置及计算机可读存储介质,该方法包括获取形成在基材上的薄膜涂层的厚度,确定热源在薄膜涂层表面的位置,以热源在薄膜涂层与基材所在的界面上的对应点为原点,计算热源以原点镜像对称的第一类对称点中的第一对称点,并计算第一对称点关于热源的第二类对称点中的第二对称点;计算第一类对称点的后续对称点以及第二类对称点的后续对称点;计算每一第一类对称点的层间应力以及第二类对称点的层间应力,形成薄膜涂层结构的层间应力曲线。本发明还提供实现上述方法的计算机装置以及计算机可读存储介质。本发明能够提高薄膜涂层结构的层间应力的计算精度。 | ||
搜索关键词: | 薄膜 涂层 结构 应力 检测 方法 计算机 装置 可读 存储 介质 | ||
【主权项】:
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