[发明专利]一种多台阶静电探针有效
| 申请号： | 202110769782.5 | 申请日： | 2021-07-07 |
| 公开（公告）号： | CN113438788B | 公开（公告）日： | 2022-08-30 |
| 发明（设计）人： | 柯锐;许敏;聂林;王占辉;龙婷;刘灏;袁博达;龚少博 | 申请（专利权）人： | 核工业西南物理研究院 |
| 主分类号： | H05H1/00 | 分类号： | H05H1/00 |
| 代理公司： | 成都行之专利代理事务所(普通合伙) 51220 | 代理人： | 唐邦英 |
| 地址： | 610000 四川省*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种多台阶静电探针，包括石墨外壳，石墨外壳的顶部形成三个台阶面，由低到高分别为第一台阶面、第二台阶面和第三台阶面；第三台阶面上布置有第一双探针、第二双探针、第一悬浮电位探针和第六悬浮电位探针；第一双探针和第二双探针布置在同一列，第一悬浮电位探针和第六悬浮电位探针布置在同一列，第二台阶面上布置有同列设置的第四悬浮电位探针和第五悬浮电位探针；第一台阶面上布置有第二悬浮电位探针、第三双探针、第四双探针、第三悬浮电位探针；第二悬浮电位探针和第三悬浮电位探针布置在同一列，所述第三双探针和第四双探针布置在同一列，五列探针交错布置。本发明解决了现有探针不能同时测量等离子体多个输运量的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 台阶 静电 探针 | ||
【主权项】：
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