[发明专利]基于互联网方式的设备远程预测性维护系统及方法

摘要

本发明公开了一种基于互联网方式的设备远程预测性维护系统及方法。该系统包括：数据采集模块、数据库管理模块和预测维护模块；数据采集模块与微电子制造装备连接，用于实时采集微电子制造装备的运行状态信息；数据库管理模块与数据采集模块连接，用于接收和存储运行状态信息；预测维护模块与数据库管理模块连接，用于提取数据库管理模块存储的运行状态信息，并根据提取的运行状态信息进行微电子制造装备的状态趋势预测、剩余寿命预测和维护方案确定。本发明的基于互联网方式的设备远程预测性维护系统及方法能实现微电子制造装备的预测性维护分析，预先识别故障的早期征兆，避免突发故障，提高微电子制造装备的安全性和可靠性，减少维修保养成本。