[发明专利]层合薄膜结构、多模态压电式微型超声换能器及制作方法在审
| 申请号： | 202110763401.2 | 申请日： | 2021-07-06 |
| 公开（公告）号： | CN113472236A | 公开（公告）日： | 2021-10-01 |
| 发明（设计）人： | 孙长河;罗明璋;黑创 | 申请（专利权）人： | 长江大学 |
| 主分类号： | H02N2/00 | 分类号： | H02N2/00 |
| 代理公司： | 武汉河山金堂专利事务所(普通合伙) 42212 | 代理人： | 胡清堂 |
| 地址： | 434000*** | 国省代码： | 湖北;42 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种层合薄膜结构、多模态压电式微型超声换能器及制作方法，层合薄膜结构包括自下而上依次层叠设置的衬底、支持膜、绝缘膜、底电极、压电薄膜和顶电极；其中，衬底上表面向下凹陷设有一空腔结构，空腔结构的水平截面形状为非轴线对称的形状，压电薄膜的水平截面形状与衬底空腔结构的水平截面形状一致。多模态压电式微型超声换能器包括层合薄膜结构。通过压电薄膜的非对称式结构设计，优化压电式微型超声换能器振动薄膜的刚度和质量分布，致使原具有对称振型的偶数阶模态产生的净电荷不被完全抵消，增加单个压电式微型超声换能器可响应的模态数目，从而达到单个压电式微型超声换能器具有多个工作模态和激励方式的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 结构 多模态 压电 式微 超声 换能器 制作方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于长江大学，未经长江大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110763401.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
