[发明专利]一种光斑校正方法、系统、集成电路检测设备和存储介质在审
| 申请号： | 202110760279.3 | 申请日： | 2021-07-06 |
| 公开（公告）号： | CN113379645A | 公开（公告）日： | 2021-09-10 |
| 发明（设计）人： | 陈鲁;方一;辛自强;黄有为;张嵩 | 申请（专利权）人： | 深圳中科飞测科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G06T5/00 | 分类号： | G06T5/00;G06T7/00 |
| 代理公司： | 深圳鼎合诚知识产权代理有限公司 44281 | 代理人： | 刘兆;郭燕 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市龙华区大浪街*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供的光斑校正方法、系统、集成电路检测设备和存储介质，通过获取检测光束通过光学元件后的光斑图像；根据光斑图像获取光斑形变的量化指标，光斑形变包括旋转、均匀性、平移和离焦中的至少一个；根据量化指标，调节光学元件的空间自由度，直至量化指标在预设阈值范围内。可见不跟发明实现了光斑形变成因的量化，并根据量化指标对光学元件进行空间自由度的调节，从而对光斑进行调节。基于此，本发明可以对光斑形变进行自动化调节，形成自动反馈，从而保证检测设备的光斑稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光斑 校正 方法 系统 集成电路 检测 设备 存储 介质 | ||
【主权项】：
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