[发明专利]一种增强水泵叶轮耐磨性的涂层材料及涂镀方法在审
| 申请号： | 202110759043.8 | 申请日： | 2021-07-05 |
| 公开（公告）号： | CN113463046A | 公开（公告）日： | 2021-10-01 |
| 发明（设计）人： | 吕智云;原魁 | 申请（专利权）人： | 大连德泰控股有限公司;原魁;吕智云 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/16;C23C14/06;C23C14/02 |
| 代理公司： | 广东有知猫知识产权代理有限公司 44681 | 代理人： | 崔新芬 |
| 地址： | 116600 辽宁省大连市大连经济*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明公开了：一种增强水泵叶轮耐磨性的涂层材料及涂镀方法，用真空泵将腔体内抽至真空度3‑6×10‑3pa，将偏压调至175‑225V，在纯氩气的条件下对样品进行溅射清洗，此时的腔内的工作气压为4.5‑5.5Pa，打开溅射电源，将功率调至650‑750W，在纯氩气的条件下对Ti靶材溅射清洗，之后打开样品挡板，开始沉积Ti的过渡层，随后关闭样品挡板，打开节流阀，将腔内氩气排出，此时的腔内的工作气压为0.45‑0.55Pa。将功率调至900W，对样品溅射清洗，等到镀膜结束后，关闭溅射电源，关闭靶材挡板，在真空条件下冷却样品至40℃以下，然后关机放气，取出样品，能够有效的提高叶轮表面的摩擦力，同时防止减小设备的耐损度，防止设备老化，提高使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 增强 水泵 叶轮 耐磨性 涂层 材料 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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