[发明专利]一种环形光瞳共焦布里渊显微系统有效

专利信息
申请号: 202110756824.1 申请日: 2021-07-05
公开(公告)号: CN113624682B 公开(公告)日: 2022-09-23
发明(设计)人: 吴寒旭;张升康;杨宏雷;杨文哲;葛军 申请(专利权)人: 北京无线电计量测试研究所
主分类号: G01N21/01 分类号: G01N21/01;G01N21/25
代理公司: 北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315 代理人: 南霆
地址: 100854 北京市海*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明提出一种环形光瞳共焦布里渊显微系统,解决现有共焦布里渊光谱测量系统计算复杂、计算精度差的问题。所述系统,包含:照明模块、分光平片、环形光阑、测量物镜、光谱探测模块;所述照明模块用于产生偏振方向可选的线偏振激光作为入射光;所述入射光经所述分光平片反射进入所述环形光阑,经环形光阑整形后通过所述测量物镜聚焦于待测样品上;待测样品经激发产生的布里渊散射光被所述测量物镜收集,进入所述环形光阑,经所述环形光阑调制后通过所述分光平片透射到所述光谱探测模块;所述光谱探测模块,用于收集探测待测样品的布里渊散射光光谱。本发明可实现高空间分辨、高光谱分辨环形光瞳共焦布里渊显微系统。
搜索关键词: 一种 环形 光瞳共焦布里渊 显微 系统
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