[发明专利]可见光到近红外双波段内嵌椭圆谐振腔传感器在审

专利信息
申请号: 202110752013.4 申请日: 2021-07-03
公开(公告)号: CN113483792A 公开(公告)日: 2021-10-08
发明(设计)人: 肖功利;林志雄;杨宏艳;曾丽珍;王博文;苏佳鹏;李海鸥;李琦;张法碧;傅涛;孙堂友;陈永和;刘兴鹏;王阳培华 申请(专利权)人: 桂林电子科技大学
主分类号: G01D5/353 分类号: G01D5/353;G02B27/00
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 541004 广西*** 国省代码: 广西;45
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摘要: 发明公开了可见光到近红外双波段内嵌椭圆谐振腔传感器,该传感器由输入输出的波导,矩形腔和椭圆环形谐振腔组成,其中波导的宽度为w,矩形谐振腔与输入输出波导之间的耦合距离为g,矩形谐振腔的宽度和高度分别为q和h,矩形谐振腔和椭圆环形谐振腔的耦合距离为g1,椭圆环形谐振器的外椭圆长轴长度和短轴长度为A1,B1,内部椭圆长轴长度和短轴长度为a1,b1。光波在波导中传输时,通过矩形腔与椭圆环形谐振腔的耦合,产生Fano共振,改变结构中的几何参数和介质的折射率后,使Fano共振谱线偏移。本发明可以实现从可见光到近红外波段的双通道调控,并且可以获得较高的灵敏度和品质因数(FOM),计算的灵敏度和品质因数最高为1075nm/RIU和91914。该发明提供的结构易与其他光子器件集成,研究结果可以为这种结构的未来应用提供指导。
搜索关键词: 可见光 红外 波段 椭圆 谐振腔 传感器
【主权项】:
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