[发明专利]基于光谐振腔的大规模激光雷达阵列微单元及制备方法在审
| 申请号： | 202110751275.9 | 申请日： | 2021-07-01 |
| 公开（公告）号： | CN113791396A | 公开（公告）日： | 2021-12-14 |
| 发明（设计）人： | 吴韦建;赵小珍;刘学满 | 申请（专利权）人： | 长沙湘计海盾科技有限公司 |
| 主分类号： | G01S7/481 | 分类号： | G01S7/481 |
| 代理公司： | 长沙市融智专利事务所(普通合伙) 43114 | 代理人： | 欧阳迪奇 |
| 地址： | 410205 湖南省长沙市高新开发*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于光谐振腔的大规模激光雷达阵列微单元及制备方法，包括底部基板、透明的顶部基板、放电装置和隔离栅；底部基板和顶部基板互相平行设置，隔离栅设置于底部基板和顶部基板的边缘并共同围绕形成光谐振腔，放电装置和光传感器设置于光谐振腔内，且光谐振腔内填充有激光工作物质。本发明的技术效果在于，把激光发射、接收部件集成为激光发射/接收微单元，可以使用成熟的集成电路、液晶面板生产工艺制作，一致性高、成本低。然后将激光发射/接收微单元进行大规模排列组合集成一个激光雷达阵列，激光发射/接收微单元的空间位置固定，可以减少测量误差、提高测量精度、缩减测量时间。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 谐振腔 大规模 激光雷达 阵列 单元 制备 方法 | ||
【主权项】：
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