[发明专利]一种新型匀胶显影机在审
| 申请号： | 202110749737.3 | 申请日： | 2021-07-02 |
| 公开（公告）号： | CN113467197A | 公开（公告）日： | 2021-10-01 |
| 发明（设计）人： | 耿克涛;刘金 | 申请（专利权）人： | 宁波润华全芯微电子设备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/26 | 分类号： | G03F7/26;G03F7/16 |
| 代理公司： | 宁波高新区永创智诚专利代理事务所(普通合伙) 33264 | 代理人： | 胡小永 |
| 地址： | 315400 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明涉及匀胶显影机领域，具体是涉及一种新型匀胶显影机，包括：箱体，调控装置，吸气风机，具有吸气软管，送气风机，具有送气软管，气体加热加湿装置，所述调控装置具有多个温湿调控组件，箱体上设有多个温湿调控组件，每个温湿调控组件均包括：升降机构和温湿调控机构，该温湿调控机构包括外筒和气体输送机构以及辅助调控机构，辅助调控机构上设有温湿感应机构，本发明通过吸气风机和送气风机与调控装置的配合，实现了每个点的热气和湿气输出和输入，通过温湿感应机构，实现了对每个点温湿度的感应，保证了每个点能够在调控后保持温湿度一致，保证了每个点均能循环输入和输出气体的同时还实现了各个点对温湿度的把控保持一致。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 显影 | ||
【主权项】：
暂无信息
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