[发明专利]一种远紫外光(200～230nm)带通滤光片在审
| 申请号： | 202110744010.6 | 申请日： | 2021-07-01 |
| 公开（公告）号： | CN113433608A | 公开（公告）日： | 2021-09-24 |
| 发明（设计）人： | 徐池 | 申请（专利权）人： | 厦门中科关爱光电研究院有限公司 |
| 主分类号： | G02B5/28 | 分类号： | G02B5/28 |
| 代理公司： | 深圳市博锐专利事务所 44275 | 代理人： | 林栋 |
| 地址： | 361000 福建省厦门*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种远紫外光(200～230nm)带通滤光片，包括光学石英玻璃和滤光膜。所述光学石英玻璃片为JGS2石英玻璃，所述滤光膜采用“空气|LHLHL...HLH|基片”的26层薄膜设计(H表示高折射率膜层，L表示低折射率膜层)。高折射率膜层采用HfO2，所述低折射率膜层采用SiO2。制备得到的滤光片可以在远紫外光(200～230nm)范围内透过率达75％以上，同时在235～265nm范围内截止，可以应用于KrCl、KrBr等准分子远紫外光源，提高其生物安全性，实现人机共存杀菌。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 紫外光 200 230 nm 滤光 | ||
【主权项】：
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