[发明专利]全光集成且含非线性机械振子的光机械微腔结构有效
| 申请号： | 202110739643.8 | 申请日： | 2021-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN113465515B | 公开（公告）日： | 2022-02-08 |
| 发明（设计）人： | 夏霁;王付印;陈虎;侯庆凯;楼康;王建飞;胡正良;朱敏;熊水东 | 申请（专利权）人： | 中国人民解放军国防科技大学 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02 |
| 代理公司： | 长沙国科天河知识产权代理有限公司 43225 | 代理人： | 赵小龙 |
| 地址： | 410073 湖*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开一种全光集成且含非线性机械振子的光机械微腔结构，属于微纳光电子微腔传感领域。包括第一微纳梁、第二微纳梁、线性机械振子、非线性机械振子与测量微盘；第二微纳梁固定连接在线性机械振子的一侧，且第二微纳梁与第一微纳梁之间具有空气间隙；非线性机械振子串联在线性机械振子的另一侧，非线性机械振子上设计有微纳探针，测量微盘设计在与微纳探针相邻的位置，测量微盘与微纳探针之间具有第一空气槽；第一微纳梁、第二微纳梁、线性机械振子、非线性机械振子的底部均悬空。将可移动的微纳梁设计在一个含有非线性机械振子中，以实现全光片上集成的腔光力驱动的非线性光‑机械耦合特性的实验研究。 | ||
| 搜索关键词： | 集成 非线性 机械 结构 | ||
【主权项】：
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