[发明专利]一种利于小型化和扩大带宽的SAW谐振器结构及SAW滤波器在审
| 申请号： | 202110736815.6 | 申请日： | 2021-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN113381725A | 公开（公告）日： | 2021-09-10 |
| 发明（设计）人： | 陈正林;董加和;马晋毅;陈彦光;唐盘良;李桦林;杜雪松 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第二十六研究所 |
| 主分类号： | H03H9/25 | 分类号： | H03H9/25;H03H9/64;H03H3/08 |
| 代理公司： | 重庆博凯知识产权代理有限公司 50212 | 代理人： | 黄河 |
| 地址： | 400060 *** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种利于小型化和扩大带宽的SAW谐振器结构及SAW滤波器，该SAW谐振器结构由下至上依次为衬底、温补层、压电薄膜层、换能器叉指电极，其中，衬底采用Si制成，温补层采用SiO |
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| 搜索关键词： | 一种 利于 小型化 扩大 带宽 saw 谐振器 结构 滤波器 | ||
【主权项】：
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