[发明专利]连接件、测试设备及晶圆的测试方法在审
| 申请号： | 202110730899.2 | 申请日： | 2021-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN113432964A | 公开（公告）日： | 2021-09-24 |
| 发明（设计）人： | 黄思杰;王超 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | G01N3/02 | 分类号： | G01N3/02;G01N3/08;G01N19/04 |
| 代理公司： | 北京恒博知识产权代理有限公司 11528 | 代理人： | 范胜祥 |
| 地址： | 430205 湖北省武*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种连接件、测试设备及晶圆的测试方法，连接件包括连接部以及安装部，连接部包括多个承载面，各承载面均可用于承载待测样品，安装部至少部分位于所有承载面之间，且安装部的延伸方向包括平行于任一承载面的分量。该设计通过在连接件的连接部上设置多个承载面，各承载面均可用于与待测样品连接以用于拉应力测试，相对于相关技术中的连接件上只设置一个承载面供待测样品连接以用于拉应力测试而言，改进后同一连接件的连接部上的多个承载面可进行切换使用，增加了同一连接件可用于拉应力测试的次数，从而提升连接件的耗材利用率，达到大幅度降低生产成本的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 连接 测试 设备 方法 | ||
【主权项】：
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