[发明专利]一种使用铟锡混合材料的靶材绑定工艺在审
申请号: | 202110725837.2 | 申请日: | 2021-06-29 |
公开(公告)号: | CN113523239A | 公开(公告)日: | 2021-10-22 |
发明(设计)人: | 曾墩风;王志强;王振宏 | 申请(专利权)人: | 芜湖映日科技股份有限公司 |
主分类号: | B22D19/04 | 分类号: | B22D19/04;C23C14/35 |
代理公司: | 南京正联知识产权代理有限公司 32243 | 代理人: | 杨静 |
地址: | 241009 安徽省芜湖市中国(安徽)自*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本发明提供一种使用铟锡混合材料的靶材绑定工艺,包括以下步骤,步骤1,将金属化后的靶材和背板放置在加热台上进行升温加热;步骤2,将铟和锡分别放置到加热炉内进行加热熔化;步骤3,按比例将熔化的铟倒入熔化的锡中,使用自动搅拌机进行搅拌混合;步骤4,将搅拌均匀的铟锡混合材料放置在靶材和背板之间,再逐步降温冷却。通过采用铟锡混合材料,以锡为主体,减少了铟的使用量,适用于靶材绑定工艺,有效的降低了生产成本。 | ||
搜索关键词: | 一种 使用 混合 材料 绑定 工艺 | ||
【主权项】:
暂无信息
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