[发明专利]陶瓷件清洗方法在审
| 申请号： | 202110725630.5 | 申请日： | 2021-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN113414178A | 公开（公告）日： | 2021-09-21 |
| 发明（设计）人： | 闫昊;王宏伟;符雅丽;郑友山 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/08 | 分类号： | B08B3/08;B08B3/12;B08B3/02;B08B13/00;F26B7/00 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;王婷 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明实施例提供一种陶瓷件清洗方法，包括：第一清洗过程，采用具有导电性的有机溶剂对陶瓷件进行超声波清洗；第二清洗过程，将经第一清洗过程清洗后的陶瓷件进行超声波清洗，以去除陶瓷件上残留的有机溶剂和颗粒；第三清洗过程，对清洗后的陶瓷件进行吹扫，并在吹扫后对陶瓷件进行烘烤。本发明实施例提供的陶瓷件清洗方法，可以有效去除因静电效应而附着的杂质或微裂纹中的微小颗粒，从而可以解决陶瓷颗粒数量超标的问题，提高芯片良率。 | ||
| 搜索关键词： | 陶瓷 清洗 方法 | ||
【主权项】：
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