[发明专利]一种基于扫描式曝光机的动态照明方法有效
| 申请号： | 202110718865.1 | 申请日： | 2021-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN113534614B | 公开（公告）日： | 2023-09-19 |
| 发明（设计）人： | 卞玉洋;赖璐璐;郭晓波;张聪 | 申请（专利权）人： | 上海华力集成电路制造有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 戴广志 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种基于扫描式曝光机的动态照明方法，提供用于曝光的光罩以及与光罩对应的GDS文件；根据GDS文件中的数据将光罩上的图形信息沿曝光时光罩移动的方向分为宽度相同的n个区域，对n个区域内的图形信息进行SMO计算，生成与n个区域分别对应的n个SMO文件；将n个SMO文件进行组合优化得到DSMO文件；根据DSMO文件、关照及晶圆的移动速度生成光源反射镜阵列的驱动程序，通过调用光源反射镜阵列的驱动程序控制曝光机反射镜阵列实现照明。本发明的DSMO方式精确到每个曝光狭缝区域内，使针对图形的照明优化进一步提高，可增大光刻工艺窗口，降低光刻成本。DSMO通过提升光刻工艺窗口的方式甚至有可能会降低光罩数量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 扫描 曝光 动态 照明 方法 | ||
【主权项】：
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