[发明专利]硅料的投料方法在审
| 申请号： | 202110712328.6 | 申请日： | 2021-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN113430639A | 公开（公告）日： | 2021-09-24 |
| 发明（设计）人： | 周声浪;汪晨;张华利;周洁 | 申请（专利权）人： | 江苏协鑫硅材料科技发展有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/02 | 分类号： | C30B15/02;C30B29/06 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 刘宁 |
| 地址： | 221004 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种硅料的投料方法，其包括：S1、选择尺寸在第一预设区间范围内的硅料作为第一类硅料，选择尺寸在第二预设区间范围内、且具有圆滑表面的硅料作为第二类硅料，其中所述第一预设区间范围的最小值大于所述第二预设区间范围的最大值；S2、将所述第一类硅料及所述第二类硅料装入装料空间，所述第二类硅料至少部分占据所述第一类硅料之间的空隙；S3、将所述装料空间内的所述第一类硅料及所述第二类硅料投入坩埚；S4、若投入不满足所述坩埚预设的投料需求，重复步骤S2、步骤S3，直至满足所述投料需求停止投料。本发明提高了直拉单晶硅工艺的产出效率。 | ||
| 搜索关键词： | 投料 方法 | ||
【主权项】：
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