[发明专利]一种非制冷调谐型红外探测器有效
| 申请号： | 202110711252.5 | 申请日： | 2021-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN113432724B | 公开（公告）日： | 2023-03-24 |
| 发明（设计）人： | 翟光杰;武佩;潘辉;翟光强 | 申请（专利权）人： | 北京北方高业科技有限公司 |
| 主分类号： | G01J5/24 | 分类号： | G01J5/24 |
| 代理公司： | 北京开阳星知识产权代理有限公司 11710 | 代理人： | 安伟 |
| 地址： | 100070 北京市丰台*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本公开涉及一种非制冷调谐型红外探测器，红外探测器中CMOS测量电路系统和CMOS红外传感结构均使用CMOS工艺制备，在CMOS测量电路系统上直接制备CMOS红外传感结构，反射层和悬空微桥结构之间设置有至少一层图案化金属互连层，图案化金属互连层与反射层之间电绝缘，图案化金属互连层用于调节红外探测器的谐振模式。通过本公开的技术方案，解决了传统MEMS工艺红外探测器的性能低，像素规模低，良率低以及一致性差等问题，有效提高了红外探测器的红外吸收率，拓宽了红外探测器的红外吸收谱段，增加了红外探测器的红外吸收谱段。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 制冷 调谐 红外探测器 | ||
【主权项】：
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