[发明专利]一种非接触式光学轮廓测量方法和装置有效
| 申请号： | 202110701252.7 | 申请日： | 2021-06-23 |
| 公开（公告）号： | CN113465533B | 公开（公告）日： | 2022-04-22 |
| 发明（设计）人： | 王建立;糜小涛;陈琦;杨永强;王之一;陈宝刚;明名;张玉良 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 长春中科长光知识产权代理事务所(普通合伙) 22218 | 代理人： | 高一明;郭婷 |
| 地址： | 130033 吉林省长春*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种非接触式光学轮廓测量方法和装置，所述装置包括转动副、转动副驱动器、角度传感器、直线位移传感器、导轨副、导轨副驱动器、测量传感器支架、球面基准镜、球面基准镜支架和底部基座；本发明的装置涉及的机械系统包括两维的直线运动和三维的转动，通过机械系统带动高精度的测量传感器和被测件按照预定轨迹运动，进而完成被测件轮廓的测量。本发明的测量方法具有通用性强、测量效率高、准确性高等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 接触 光学 轮廓 测量方法 装置 | ||
【主权项】：
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