[发明专利]高可靠性边发射激光器及工艺有效
| 申请号： | 202110695380.5 | 申请日： | 2021-06-23 |
| 公开（公告）号： | CN113540964B | 公开（公告）日： | 2023-08-01 |
| 发明（设计）人： | 魏思航;周志强;刘倚红;王任凡 | 申请（专利权）人： | 武汉敏芯半导体股份有限公司 |
| 主分类号： | H01S5/024 | 分类号： | H01S5/024;H01S5/34;H01S5/40 |
| 代理公司： | 湖北武汉永嘉专利代理有限公司 42102 | 代理人： | 许美红 |
| 地址： | 430014 湖北省*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明为高可靠性边发射激光器及工艺，公开了一种提高边发射激光器可靠性的方法，包括以下步骤：激光器结构中仅去除边发射激光器端面附近的衬底材料，且利用腐蚀截止层从背面去除；将与衬底形貌契合的导热介质作为异质衬底，填充在端面处被腐蚀的区域；导热介质的热导率高于原衬底材料，且导热介质热膨胀系数大于原衬底材料；通过高温退火改变端面量子阱的带隙。本发明通过去除边发射激光器端面附近的衬底材料，用高热导率、高热膨胀系数的材料替代，用于提升激光器COD，改善可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 可靠性 发射 激光器 工艺 | ||
【主权项】：
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