[发明专利]类细胞拓扑结构的声子晶格板微机电谐振器及加工方法在审
| 申请号： | 202110694788.0 | 申请日： | 2021-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN113507276A | 公开（公告）日： | 2021-10-15 |
| 发明（设计）人： | 刘嘉诚;侯世强 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | H03H9/24 | 分类号： | H03H9/24;H03H9/02;H03H9/125;H03H3/007 |
| 代理公司： | 成都君合集专利代理事务所(普通合伙) 51228 | 代理人： | 尹新路 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种类细胞拓扑结构的声子晶格板微机电谐振器及加工方法，所述具有类细胞拓扑结构的人造声子晶格板微机电谐振器，包括基底，压电层，以及位于压电层上表面的输入电极，输出电极，类细胞拓扑结构的人造声子晶格板和地电极；输入电极和输出电极放置在压电层上表面的中心处，通过交叉排列构成叉指电极(IDT,interdigital electrodes)，用于实现压电层机电转换过程中的电信号输入和输出；人造声子晶格板设计在输入输出叉指电极的两侧，其结构是周期性排列的具有类细胞拓扑结构的金属钨圆柱体；本发明解决了现有微机电谐振器中存在的能量损耗较大，品质因数较低的问题，有利于实现其在低相位噪声振荡器，窄带滤波器和高精度传感器中的应用。 | ||
| 搜索关键词： | 细胞 拓扑 结构 晶格 微机 谐振器 加工 方法 | ||
【主权项】：
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