[发明专利]近红外响应增强的叠层复合GaAs基光电阴极及其制备方法在审

专利信息
申请号: 202110694309.5 申请日: 2021-06-22
公开(公告)号: CN113690119A 公开(公告)日: 2021-11-23
发明(设计)人: 张益军;王自衡;李姗;李诗曼;詹晶晶;张锴珉;钱芸生 申请(专利权)人: 南京理工大学
主分类号: H01J29/04 分类号: H01J29/04;H01J9/12
代理公司: 南京理工大学专利中心 32203 代理人: 岑丹
地址: 210094 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种近红外响应增强的叠层复合GaAs基光电阴极及其制备方法。该光电阴极包括自下而上设置的衬底、GaAs缓冲层、InyAl1‑yAs线性渐变缓冲层、p型In0.19Al0.81As腐蚀阻挡层、p型InxGa1‑xAs变组分变掺杂发射层、DBR反射层和增透膜接触层,其中,DBR反射层由GaAs层与AlAs层按照特定周期交替生长组成。p型掺杂InxGa1‑xAs发射层由不同In组分的多子层组成,各子层中In组分自内向外逐层由0.05递增到0.2。本发明一方面通过变组分生长技术,改善了原有InGaAs光电阴极的晶格匹配质量,提高了光电阴极的光电发射特性,增强了该光电阴极在全波段的响应。另一方面,通过引入DBR反射层,大幅提高了该光电阴极对近红外特定波长的光吸收能力,进一步提高了特定波长下的量子效率增强效果。
搜索关键词: 红外 响应 增强 复合 gaas 光电 阴极 及其 制备 方法
【主权项】:
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