[发明专利]一种快速定位对焦的工业OCT检测设备在审
| 申请号： | 202110690145.9 | 申请日： | 2021-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN113447482A | 公开（公告）日： | 2021-09-28 |
| 发明（设计）人： | 吴晓顺;刘志鹏 | 申请（专利权）人： | 无锡欧因特光学科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/84 | 分类号： | G01N21/84;G01N21/88 |
| 代理公司： | 无锡知更鸟知识产权代理事务所(普通合伙) 32468 | 代理人： | 王峥 |
| 地址： | 214142 江苏省无锡市新吴区净慧东道*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种快速定位对焦的工业OCT检测设备，涉及工业膜层检测领域，包括宽带光源，宽带光源连接光纤耦合器，光纤耦合器通过光谱仪与计算机连接；光纤耦合器可将宽带光源输出的激光信号进行分光，并使分光后的光信号分别射入参考臂和样品臂，并将沿两路光路反射回来的光形成干涉；样品臂用于将所接收的入射光发射至下方的样品工作台并经反射形成样品光，参考臂用于对所接收的入射光进行反射以形成产生参考光。本发明通过激光测距模块和电机滑台可以快速地升降样品臂，达成样品臂和参考臂光程的干涉匹配条件，实现快速对焦成像，此外待测物实时的监控画面，具有相当大的视野范围及较高的分辨率，满足工业批量化高效检测需求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 快速 定位 对焦 工业 oct 检测 设备 | ||
【主权项】：
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