[发明专利]制程尾气处理装置在审
| 申请号： | 202110684770.2 | 申请日： | 2021-06-21 |
| 公开（公告）号： | CN115569465A | 公开（公告）日： | 2023-01-06 |
| 发明（设计）人： | 顾崇诚 | 申请（专利权）人： | 信强(宁波)半导体设备制造有限公司 |
| 主分类号： | B01D47/02 | 分类号： | B01D47/02 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 骆希聪 |
| 地址： | 315480 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开一种制程尾气处理装置包括一气体入口、一气体出口、一洗涤室、一风机、一主要通道、一分流通道、一压力传感器组和一控制阀门组。主要信道包括一第一信道、一第二信道和一第三信道。第一通道连通气体入口和洗涤室。第二通道连通洗涤室和风机。第三通道连通风机和气体出口。分流通道连通气体入口和气体出口。压力传感器组设置于气体入口、气体出口、主要通道和分流通道，以感测一气压。控制阀门组设置于主要通道和分流通道，以调节气压。 | ||
| 搜索关键词： | 尾气 处理 装置 | ||
【主权项】：
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