[发明专利]一体化控制的大型精密装备隔振系统

摘要

本发明公开了一种一体化控制的大型精密装备隔振系统，涉及大型精密装备隔振技术领域，包括隔振组件及承载平台，隔振组件设置于精密装备下方，承载平台为多个，多个承载平台在精密装备内竖向排布，且各个承载平台均由隔振组件支撑。本发明的一体化控制的大型精密装备隔振系统，在大型精密装备内部设置了多个竖向排布的承载平台，并一体化受控于隔振组件之上，通过一体化的方式实现对不同维度的精密器件的隔振，解决了困扰业界许久的问题，该系统在满足设备多维度隔振效果的基础上，还能够大幅降低投入和运行成本，提高精密装备检测效率。