[发明专利]一种Zr-B-O-N薄膜、Cu互连结构及其制备方法在审
| 申请号： | 202110667577.8 | 申请日： | 2021-06-16 |
| 公开（公告）号： | CN113403597A | 公开（公告）日： | 2021-09-17 |
| 发明（设计）人： | 孟瑜;宋忠孝;李雁淮;宋宝睿 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学;西安交通大学苏州研究院 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/18;C23C14/06;C23C14/58;H01L23/538;H01L21/768 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 马贵香 |
| 地址： | 710049 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： |
本发明提供一种Zr‑B‑O‑N薄膜、Cu互连体及其制备方法，以ZrB |
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| 搜索关键词： | 一种 zr 薄膜 cu 互连 结构 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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