[发明专利]一种高真空原位原子力显微镜送样装置在审

专利信息
申请号: 202110664485.4 申请日: 2021-06-16
公开(公告)号: CN113406362A 公开(公告)日: 2021-09-17
发明(设计)人: 刘风光;吴鹏;赵巍胜 申请(专利权)人: 北京航空航天大学合肥创新研究院(北京航空航天大学合肥研究生院)
主分类号: G01Q60/24 分类号: G01Q60/24;G01Q30/20
代理公司: 合肥律众知识产权代理有限公司 34147 代理人: 练兰英
地址: 230000 安徽*** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 发明公开了一种高真空原位原子力显微镜送样装置,包括底座,所述底座上安装有原子力显微镜本体:所述底座上对称开设有两个平行的开槽,其中一个所述开槽内设置有光杆,且光杆与开槽的内壁固定连接,另一个所述开槽内设置有螺杆,且螺杆与开槽的内壁转动连接,所述螺杆延伸至开槽外侧并连接有驱动其转动的驱动机构。本发明通过设置转轴,并设置配合转轴运动的翻转机构,通过主动拨盘带动从动槽轮将连续运动转化为间隙运动,从而实现转轴间隙转动。槽轮可以带动样品放置器皿同步翻转,可以实现上侧的样品放置器皿用于测量,两侧的样品放置器皿用于备选,便于实现切换测量,极大的节约了测量人员的时间和精力。
搜索关键词: 一种 真空 原位 原子 显微镜 装置
【主权项】:
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