[发明专利]双层悬浮红外热电堆及其制备方法在审
| 申请号： | 202110662171.0 | 申请日： | 2021-06-15 |
| 公开（公告）号： | CN113394331A | 公开（公告）日： | 2021-09-14 |
| 发明（设计）人： | 倪藻;李伟 | 申请（专利权）人： | 上海迷思科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L35/32 | 分类号： | H01L35/32;H01L35/34;G01J5/12 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 卢炳琼 |
| 地址： | 201306 上海市浦东新区中国（上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种双层悬浮红外热电堆及其制备方法，通过在红外吸收层吸收部下引入导热反射层，可提高吸收率，并将热量更快、更多地集中到热结端，有利于增大探测信号，提高探测性能；进一步的，通过设置预设牺牲层，使得具有较小宽度的刻蚀窗口即可形成具有较大宽度的隔热空腔，可提高热电堆的结构布局的灵活性，提高器件空间利用率；进一步的，可在最后一道步骤中同时形成双层悬浮红外热电堆，从而可有效降低工艺复杂度、提高成品率，有利于实现红外热电堆的小型化和高性能。本发明的双层悬浮红外热电堆采用单面加工的加工方法，具有工艺简单、成品率高的优点，适合大批量生产。 | ||
| 搜索关键词： | 双层 悬浮 红外 热电 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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