[发明专利]一种从IGZO靶材中分别回收铟和镓的方法有效
| 申请号： | 202110645113.7 | 申请日： | 2021-06-09 |
| 公开（公告）号： | CN113512651B | 公开（公告）日： | 2022-11-11 |
| 发明（设计）人： | 丁金铎;崔恒;葛春桥;柳春锡;金志洸 | 申请（专利权）人： | 中山智隆新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C22B58/00 | 分类号： | C22B58/00;C22B7/00;C05C3/00 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 尹凡华 |
| 地址： | 528400 广东省中山*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明属于靶材回收技术领域，公开了一种从IGZO靶材中分别回收铟和镓的方法。该方法包括以下步骤：(1)取IGZO靶材粉碎，加入酸，溶解IGZO靶材中的氧化铟和氧化锌，过滤，灼烧，得到氧化镓；(2)向步骤(1)中滤液中加入弱碱，控制pH值，过滤，灼烧，得到氧化铟。该方法充分利用IGZO靶材中铟、镓和锌的性质，仅通过一次酸溶解和弱碱处理，就能分别回收得到高纯度的铟和镓。其处理过程简单，对设备要求低，回收的铟和镓中Zn含量小于6ppm，总杂质含量小于30ppm。且该方法能够充分利用IGZO靶材的生产设备，且回收的氧化铟和氧化镓粉末可直接作为IGZO靶材的原料。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 igzo 靶材中 分别 回收 方法 | ||
【主权项】：
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