[发明专利]一种原子力显微镜探针的夹持工具在审

专利信息
申请号: 202110641528.7 申请日: 2021-06-09
公开(公告)号: CN113433349A 公开(公告)日: 2021-09-24
发明(设计)人: 温焕飞;唐军;刘俊;马宗敏;郭浩;李中豪 申请(专利权)人: 中北大学
主分类号: G01Q60/38 分类号: G01Q60/38
代理公司: 太原科卫专利事务所(普通合伙) 14100 代理人: 朱源
地址: 030051 山*** 国省代码: 山西;14
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摘要: 发明公开了一种原子力显微镜探针的夹持工具,属于微波检测技术领域。该原子力显微镜探针的夹持工具包括探针定位块,主板,压片,转接头,压电陶瓷片五部分。所述探针定位块固定于主板上,并与压电陶瓷片胶固定。探针定位块用于探针的定位。主板用于实现压片对探针夹持的作用。本夹持工具用于原子力显微镜的微波探测,结构简单,易于操作,同时,增加和改善了微波输入的端口,能够有效降低微波传输损耗,从而提高微波探测的效果。
搜索关键词: 一种 原子 显微镜 探针 夹持 工具
【主权项】:
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