[发明专利]一种宽电压宽频率输出的等离子体电源及其控制方法

摘要

本发明公开了一种宽电压宽频率输出的等离子体电源及其控制方法，包括三相整流电路、双管升降压电路和全桥逆变电路组成，其中三相整流电路由三相二极管整流桥构成，双管升降压电路由第一开关管、第二开关管、第一电感、第一二极管、第二二极管和第二电容构成，全桥逆变电路由第三开关管、第四开关管、第五开关管、第六开关管、第二电感、第三电容和升压变压器构成，通过控制器对双管升降压电路输出的直流电压和电流信号进行采样和调节，实现电源输出电压或功率的闭环控制；通过控制器对全桥逆变电路输出交流电压的相位信号进行采样和调节，实现电源输出频率闭环控制。本发明在提高输出频率的同时保证了开关管工作频率在适宜频率范围内。