[发明专利]旋转靶材的绑定加热装置、方法及计算机可读存储介质有效
| 申请号： | 202110605651.3 | 申请日： | 2021-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN113174578B | 公开（公告）日： | 2023-10-03 |
| 发明（设计）人： | 雷雨;周志宏;肖世洪;周昭宇;汪政军;刘芳 | 申请（专利权）人： | 广州市尤特新材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;B22D19/04 |
| 代理公司： | 广州永华专利代理有限公司 44478 | 代理人： | 唐立辉 |
| 地址： | 510880 广东省广州*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及磁控溅射靶材制备技术领域，特别涉及一种旋转靶材的绑定加热装置、方法及计算机可读存储介质。加热装置设有内加热结构和外加热结构：内加热结构的环状定位管用于引导热风向背管传递热量，在环状定位管与背管之间通热风后实现对背管的快速升温；外加热结构为多节环状加热罩，各个环状加热罩可密封叠置以适应不用高度的靶材，外加热结构的密封盖可拆卸地安装在最上层环状加热罩顶部，外加热结构与安装底座一起构成全密封结构，将背管和靶材罩在内部。通过内加热结构的热风通道和外加热结构的加热管同步工作，使得背管内外温度处于预设差值范围内，如此则待绑定的靶管内外温度保持一致，减少外管靶材崩裂的几率。 | ||
| 搜索关键词： | 旋转 绑定 加热 装置 方法 计算机 可读 存储 介质 | ||
【主权项】：
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