[发明专利]一种基于纳米压印的等离子柔性透明薄膜及其制备方法在审

专利信息
申请号: 202110604779.8 申请日: 2021-05-31
公开(公告)号: CN113419400A 公开(公告)日: 2021-09-21
发明(设计)人: 刘旻;郜鹏;马英;杨晓;于岚;雷云泽;方翔 申请(专利权)人: 西安电子科技大学
主分类号: G03F7/00 分类号: G03F7/00;G02B5/00;G01N21/65
代理公司: 西安嘉思特知识产权代理事务所(普通合伙) 61230 代理人: 刘长春
地址: 710000 陕*** 国省代码: 陕西;61
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摘要: 发明公开了一种基于纳米压印的等离子柔性透明薄膜及其制备方法,该制备方法首先以目标纳米结构为模板,以紫外固化胶为压印材料进行一次压印,在透明玻璃表面形成与所述目标纳米结构对应的相反纳米结构;其次,以所述相反纳米结构为模板,以透明薄膜为基底,以紫外固化胶为压印材料进行二次压印,在透明薄膜基底上表面形成与目标纳米结构相同的结构;最后,在所得的与目标纳米结构相同的结构表面生成贵金属纳米层,从而形成所述等离子柔性透明薄膜。该制备方法操作简单,重复性高,可用于制备高活性表面增强拉曼光谱术基底,实现简单的粘贴‑读出式拉曼光谱原位检测。
搜索关键词: 一种 基于 纳米 压印 等离子 柔性 透明 薄膜 及其 制备 方法
【主权项】:
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