[发明专利]一种透射式纳米尺度红外吸光度光谱原位表征装置在审

专利信息
申请号: 202110600667.5 申请日: 2021-05-31
公开(公告)号: CN113567709A 公开(公告)日: 2021-10-29
发明(设计)人: 曾华荣;徐琨淇;赵坤宇;李国荣 申请(专利权)人: 中国科学院上海硅酸盐研究所
主分类号: G01Q60/24 分类号: G01Q60/24;G01N21/35
代理公司: 上海专利商标事务所有限公司 31100 代理人: 郭蔚
地址: 200050 *** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明公开了一种透射式纳米尺度红外吸光度光谱原位表征装置,该装置还包括:一透射式纳米红外光热激励模块,用于产生和控制周期性脉冲红外激光,由热探针检测透射的周期性脉冲红外激光的光强,并诱导热探针产生周期性温度变化;一光热信号检测模块,根据热探针的周期性温度变化,进行时域向频域形式的转换;一红外吸光度光谱采集模块,用于分析、处理透射式纳米红外光热激励模块传递的周期性脉冲红外激光的波数和光热信号检测模块传递的光热基频信号Fω,并计算样品材料对应波数的红外吸光度相对值。本申请用原子力显微镜纳米尺度热探针直接检测透过样品材料的红外光光强,来表征样品对该波数的红外光吸光度,建立起基于原子力显微镜的纳米红外吸光度光谱的新装置。
搜索关键词: 一种 透射 纳米 尺度 红外 光度 光谱 原位 表征 装置
【主权项】:
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