[发明专利]基于单片机的分布式多功能气体质量流量控制器在审
| 申请号： | 202110596230.9 | 申请日： | 2021-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN113391653A | 公开（公告）日： | 2021-09-14 |
| 发明（设计）人： | 朗贤礼;吴韵婕;马玉军;任志杰;舒双宝 | 申请（专利权）人： | 合肥工业大学 |
| 主分类号： | G05D7/06 | 分类号： | G05D7/06;G01F1/76;G05B19/042 |
| 代理公司： | 合肥中博知信知识产权代理有限公司 34142 | 代理人： | 管秋香 |
| 地址： | 230000 *** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于单片机的分布式多功能气体质量流量控制器，涉及半导体制造技术领域，所述气体质量流量控制器包括气体质量流量传感器、核心控制器、工业物联网和人机交互系统；本发明所述气体质量流量控制器包括了采集数据、数据上传、设定参数等多个功能模块，将一个控制系统集中在一个机箱内实现，极大程度缩减了传统数字电路结构控制的成本，解放了传统监测系统的人力资源，并创新的建立了质量流量传感器的数据网络，从而使得工厂的控制更为集中、准确、便捷。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 单片机 分布式 多功能 气体 质量 流量 控制器 | ||
【主权项】：
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