[发明专利]通道型电子倍增体及离子检测器在审
| 申请号： | 202110590176.7 | 申请日： | 2021-05-28 |
| 公开（公告）号： | CN114023623A | 公开（公告）日： | 2022-02-08 |
| 发明（设计）人： | 远藤刚志;小林浩之 | 申请（专利权）人： | 浜松光子学株式会社 |
| 主分类号： | H01J49/06 | 分类号： | H01J49/06;G01N27/62 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 杨琦;黄浩 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本实施方式的CEM及离子检测器具备用于实现比现有技术高灵敏度的离子检测的构造。该通道型电子倍增体至少具备通道主体、输入侧导电层、输出侧导电层、及电极。通道主体含有，输入侧上设置有锥形开口部的通道，在该通道内壁面上形成电阻层及电子放出层。输入侧导电层被设置于通道主体的输入端面上且其一部分在锥形开口部内延伸。输出侧导电层被设置于锥形开口部的输出端面上。电极具有使带电粒子通过的一个以上的开口，被配置于相对于输入端面的输出端面的相反侧。该电极与输入侧导电层由于排除锥形开口部内的外部电场的影响，被设定为相同电位。 | ||
| 搜索关键词： | 通道 电子 倍增 离子 检测器 | ||
【主权项】：
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