[发明专利]周缘部涂布装置及周缘部涂布方法在审
| 申请号： | 202110588813.7 | 申请日： | 2021-05-28 |
| 公开（公告）号： | CN113731673A | 公开（公告）日： | 2021-12-03 |
| 发明（设计）人： | 马渕康史;后藤茂宏;松泰司;胡铃达 | 申请（专利权）人： | 株式会社斯库林集团 |
| 主分类号： | B05B13/02 | 分类号： | B05B13/02;B05B13/04;B05D1/00;B05D1/02 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 陈甜甜 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种周缘部涂布装置及周缘部涂布方法。利用旋转保持部保持衬底而使衬底绕着衬底的中心轴旋转。在衬底正在旋转的状态下，通过利用涂布液供给部向衬底一面的周缘部供给涂布液，从而在衬底一面的除中央区域以外的周缘部形成涂布膜。当在衬底一面的周缘部形成涂布膜之后，反复进行预定次数2次以上的利用旋转保持部的搅拌动作。在各搅拌动作中，使衬底加速而提高衬底的转速。在衬底加速之后，使衬底减速而减小衬底的转速。在衬底减速之后，维持衬底的转速。 | ||
| 搜索关键词： | 周缘 部涂布 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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