[发明专利]照明系统及光刻机在审
| 申请号： | 202110586372.7 | 申请日： | 2021-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN115407612A | 公开（公告）日： | 2022-11-29 |
| 发明（设计）人： | 罗龙锋;田毅强 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 郑星 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种照明系统及光刻机，所述照明系统包括光源单元以及匀光单元，所述匀光单元用于对所述光源单元提供的光束进行匀化以形成均匀的照明视场，所述匀光单元包括至少两个依次连接的匀光积分棒，且任意相邻的两个匀光积分棒的连接处并非在所有的匀光积分棒的总长度的二分之一处，如此，可以降低相邻的两个积分棒的连接处对光束的均匀性的影响，提高匀光单元对光束的匀化性能，由此形成均匀的照明视场，从而提高照明系统的照明均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 照明 系统 光刻 | ||
【主权项】：
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