[发明专利]一种用于石墨反应釜加热的可调功率感应加热电源系统有效

专利信息
申请号: 202110567742.2 申请日: 2021-05-24
公开(公告)号: CN113316278B 公开(公告)日: 2023-05-16
发明(设计)人: 王志为;张苒;高恒;崔岳 申请(专利权)人: 核工业理化工程研究院
主分类号: H05B6/06 分类号: H05B6/06
代理公司: 天津创智睿诚知识产权代理有限公司 12251 代理人: 王海滨
地址: 300000 *** 国省代码: 天津;12
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摘要: 发明公开了一种用于石墨反应釜加热的可调功率感应加热电源系统,主要由整流、逆变、谐振回路与主控板四部分构成,本发明直流侧使用三相无控整流技术,逆变侧使用单相全桥方波逆变技术与移频调功的功率调节方案;谐振回路选用自藕变压器隔离的串联谐振拓扑结构;主控板以DSP芯片为核心主要完成四部分功能1)AD采集部分,进行电流、电压、温度等数据采集,2)PWM波形生成,生成一定频率的全桥方波逆变PWM信号,通过IGBT驱动板实现两IGBT模块的驱动,实现全桥方波逆变功能,3)控制算法实现,实现功率PID闭环控制算法与温度迟滞比较算法等,4)接口电路,通过IO口完成面板按键动作的采集与接触器接触器动作的控制等。
搜索关键词: 一种 用于 石墨 反应 加热 可调 功率 感应 电源 系统
【主权项】:
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