[发明专利]基于多图像面积关系的显微成像系统自动对焦方法及装置

摘要

本发明公开了一种基于多图像面积关系的显微成像系统自动对焦方法，包括以下过程：将两束激光光束投射到样品表面，并接收样品表面反射的两束激光光束形成的两个面积不同的光斑图像，获得显微物镜与样品之间的距离与两个光斑面积之间对应关系；调整显微物镜与样品之间的距离，由不同距离与光斑面积之间映射关系形成面积查找表；获取待测环境中光斑图像，根据面积查找表获得此光斑面积对应的显微物镜与样品之间距离；根据此距离计算得到离焦距离，基于此离焦距离移动显微物镜相对样品位置，从而实现显微成像系统的自动对焦。本发明采用两条光束投影到测量物体表面，利用两者之间的相互关系来考察聚焦情况，提高检测精度。