[发明专利]片上光束调控结构及光耦合系统

摘要

本发明提供的片上光束调控结构，包括导光层，所述导光层包括第一区和第二区；所述第一区的折射率大于所述第二区的折射率；所述第二区与所述第一区的交界面包括第一反射面，所述第一反射面为光学自由曲面。能够将具有一定发散角度的光束进行调控，将所述光束会聚到特定位置，光束能量损耗小；同时利于实现光路结构尺寸的微型化，能够设置于集成光学芯片上，进一步提高了片上光学系统设计的自由度。本发明还提供的光耦合系统因具有本发明的片上光束调控结构而具有相应优势，实现晶圆级的片上端面耦合，对准容差高且耦合损耗低。