[发明专利]三点消色差远心扫描激光加工物镜在审
申请号: | 202110526345.0 | 申请日: | 2021-05-14 |
公开(公告)号: | CN113238365A | 公开(公告)日: | 2021-08-10 |
发明(设计)人: | 肖向荣 | 申请(专利权)人: | 武汉松盛光电科技有限公司 |
主分类号: | G02B13/22 | 分类号: | G02B13/22;G02B27/00;B23K26/06 |
代理公司: | 北京众达德权知识产权代理有限公司 11570 | 代理人: | 刘杰 |
地址: | 430000 湖北省武汉市东湖新技*** | 国省代码: | 湖北;42 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本发明涉及一种激光加工应用的三点消色差远心扫描激光加工物镜,其中物镜系统包括2300nm激光入射方向依次排列的第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜,其中,第一透镜为弯月透镜,曲面向着光线的入射方向;第二透镜为弯月透镜,曲面向着光线的入射方向;第三透镜为双凸透镜;第四透镜为平凹透镜;第五透镜为双凹透镜。本光学系统的焦距为254mm,数值孔径为0.078,入瞳直径为20mm。本发明对激光加工系统的850nm、915nm以及2300nm三个波长消色差,消除色差的干扰,可对70mm*70mm,扫描角度的±12.5°加工区域范围进行激光加工,对加工位置进行精确定位,保证激光加工的准确性和质量。 | ||
搜索关键词: | 三点消 色差 扫描 激光 加工 物镜 | ||
【主权项】:
暂无信息
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