[发明专利]一种兰姆波谐振器及弹性波装置在审
| 申请号： | 202110512905.7 | 申请日： | 2021-05-11 |
| 公开（公告）号： | CN113114158A | 公开（公告）日： | 2021-07-13 |
| 发明（设计）人： | 欧欣;郑鹏程;张师斌;王成立;周鸿燕 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H9/145 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 林丽丽 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种兰姆波谐振器及弹性波装置，所述兰姆波谐振器包括：支撑衬底；压电薄膜，形成于所述支撑衬底的上表面；叉指电极，形成于所述压电薄膜的上表面；高热导率薄膜，至少形成于所述叉指电极未覆盖的所述压电薄膜的上表面，及/或，形成于所述支撑衬底和所述压电薄膜之间；空气腔，形成于所述支撑衬底中，并使叉指电极所在区域的压电薄膜和高热导率薄膜悬空于所述支撑衬底上方。通过本发明提供的兰姆波谐振器及弹性波装置，解决了现有器件功率容量低的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 兰姆波 谐振器 弹性 装置 | ||
【主权项】：
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