[发明专利]一种基于马赫曾德干涉仪的大带宽温度不敏感的传感器

摘要

本发明公开了一种基于马赫曾德干涉仪的大带宽温度不敏感的传感器；光源信号通过输入光波导输入，经过3dB功分器将功率等分到两条非对称的马赫曾德干涉臂，所述两臂由长度不同的第一宽条形波导、窄条形波导、slot波导以及长度相同的第二宽条形波导组成，不同波导结构之间通过锥形波导连接，光场从两臂经过这些波导结构后相位被调制，而后通过合束器进行干涉至输出光波导。本发明采用三种结构的波导对马赫曾德干涉仪两臂的光场相位进行调制，结合slot波导的高灵敏度特性及平面光波导的集成化优势，实现大带宽范围内的温度不敏感、高折射率灵敏度、自由光谱范围可调、高集成度、低成本的光传感器。