[发明专利]用于金刚石薄膜磁成像装置的微波天线及制作方法在审

专利信息
申请号: 202110511015.4 申请日: 2021-05-11
公开(公告)号: CN113281683A 公开(公告)日: 2021-08-20
发明(设计)人: 赵龙;赵博文;王鑫;仇茹嘉;杨海涛;谢佳;柯艳国;高博;汪玉;王丽君;陈凡;李圆智;陈嘉;罗大程 申请(专利权)人: 国网安徽省电力有限公司电力科学研究院;安徽省国盛量子科技有限公司;国家电网有限公司
主分类号: G01R33/00 分类号: G01R33/00;G01R33/032;G01R29/10;H01Q1/22;H01Q1/36;H05K3/00;H05K3/10
代理公司: 北京国林贸知识产权代理有限公司 11001 代理人: 唐维宁;李瑾
地址: 230601 安徽省*** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 一种用于金刚石薄膜磁成像装置的微波天线及制作方法。本发明金刚石薄膜设置有一对正负电极;金刚石薄膜的背面固定设置有微波天线,微波天线为材质是铜或银的丝线,丝线的两端分别与正负电极连接;正负电极分别设置在金刚石薄膜的两端;2条以上的丝线平行设置,相邻2条丝线之间的距离相等;制作方法的步骤是,A、清洗金刚石薄膜表面,B、在金刚石薄膜的背面制备掩膜,C、在金刚石薄膜的正面镀增透膜。其有益效果是,结构设计合理,在金刚石薄膜背面制作平行排布的微波天线,高效利用磁成像装置的微波信号,均匀地调控NV色心的自旋态,实现磁场的精确测量,能够解决特殊环境下的磁场测量问题。
搜索关键词: 用于 金刚石 薄膜 成像 装置 微波 天线 制作方法
【主权项】:
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