[发明专利]一种微细电极端面自动磨平装置及方法

摘要

本发明公开了一种微细电极端面自动磨平装置和方法，属于微细加工领域，包括龙门架、底座、z轴高速/微动电移台、x轴微动电移台、直角支架、电极夹具、砂纸、柔性支架、支架座、滑轨、位移传感器、应变传感器等；微细电极固定在电极夹具上，通过z轴高速/微动电移台和位移传感器实现微细电极磨削的自动对刀，电极与砂纸接触后，利用柔性支架克服重力后的弹性张力提供电极的磨削力，通过x轴微动电移台控制电极在砂纸上沿x轴方向往复运动实现微细电极端平面的微量、高精度自动磨削加工；通过应变传感器实时检测柔性支架应变量进而控制磨削力大小并实现电极磨削量的自动补偿。本发明解决了电化学腐蚀或在线磨削微细电极端面难以二次加工的难题。